![Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии — Валерий Михайлов](./img/books-4/14402698.jpg)
Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии
- Жанр: Техническая литература, Учебно-методические пособия
- Автор: Валерий Михайлов
- Год издания: 2011
- ISBN: 978-5-7038-3494-7
- Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана
О книге "Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии"
Методические материалы по дисциплине «Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, лабораторных работ, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.
Похожие книги